複合電歪セラミックス、その製造方法およびそれを用いた変位素子

Complex electrostrictive ceramics, its production and displacement element using the same ceramics

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低温で作製できる電歪セラミックスとその製 造方法、及びこのセラミックスよりなる変位素子を提供 する。 【構成】 電歪セラミックス粉末として、0.5 Pb(N i 1/3 Nb 2/3 )O 3 −0.4 PbTiO 3 −0.1 Ba (Zn 1/3 Nb 2/3 )O 3 の組成比の平均粒子径3.2 μmに粉砕した仮焼粉末と平均粒子径3.8μmのPb O・B 2 O 3 系ガラス粉末を、媒体撹拌ミルで平均粒子 径約0.2μmに混合粉砕後、加圧成形、焼成し、ガラ ス3がマトリックスとなり、電歪セラミックス粉末2が ガラス3のマトリックス中にランダムに入り乱れて分散 された複合電歪セラミックスを製造した。
PURPOSE: To provide electrostrictive ceramics manufactured at low temperature and a displaced element comprising the ceramics. CONSTITUTION: Calcined powder having a composition ratio of 0.5Pb(Ni 1/3 Nb 2/3 ) O 3 -0.4PbTiO 3 -0.1Ba(Zn 1/3 Nb 2/3 )O 3 , ground into 3.2μm average particle diameter is mixed with PbO B 2 O 3 -based on glass powder having 3.8μm average particle diameter and ground into about 0.2μm average particle diameter by a medium stirring mill to give electrostrictive ceramics powder, which is press molded and burnt to produce complex electrostrictive ceramics 1 wherein the electrostrictive ceramics powder 2 is randomly dispersed into a matrix of glass 3. COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio

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    JP-2003008092-AJanuary 10, 2003Japan Science & Technology Corp, Mutsuo Munekata, Norio Shimizu, 睦夫 宗片, 紀夫 清水, 科学技術振興事業団積層型圧電素子とその製造方法ならびに積層型圧電素子用封止材料